Ионный источник: различия между версиями
Перейти к навигации
Перейти к поиску
| [непроверенная версия] | [непроверенная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Нет описания правки |
Нет описания правки |
||
| Строка 4: | Строка 4: | ||
Поток ионов может быть получен в результате ионной [[Электронная эмиссия|эмиссии]] из плазмы, при нагревании ([[термоионная эмиссия]]), при бомбардировке эмиттера (называется в этом случае мишенью) пучком ионов ([[ионно-ионная эмиссия]]), электронами ([[электронно-ионная эмиссия]]) и фотонами ([[фотодесорбция]]). |
Поток ионов может быть получен в результате ионной [[Электронная эмиссия|эмиссии]] из плазмы, при нагревании ([[термоионная эмиссия]]), при бомбардировке эмиттера (называется в этом случае мишенью) пучком ионов ([[ионно-ионная эмиссия]]), электронами ([[электронно-ионная эмиссия]]) и фотонами ([[фотодесорбция]]). |
||
==См. также == |
|||
* [[Ионная имплантация]] |
|||
== Примечания == |
|||
{{Примечания}} |
|||
== Литература == |
== Литература == |
||
Версия от 11:07, 22 октября 2015
 | В статье не хватает ссылок на источники (см. рекомендации по поиску). |
Ио́нный исто́чник — устройство для получения направленных потоков (пучков) ионов. Ионный источник является важной частью ускорителей заряженных частиц, масс-спектрометров, ионных микроскопов, электромагнитных разделителей изотопов и многих других устройств.
Поток ионов может быть получен в результате ионной эмиссии из плазмы, при нагревании (термоионная эмиссия), при бомбардировке эмиттера (называется в этом случае мишенью) пучком ионов (ионно-ионная эмиссия), электронами (электронно-ионная эмиссия) и фотонами (фотодесорбция).
См. также
Примечания
Литература
- Габович М. Д. Физика и техника плазменных источников ионов. — М.: Атомиздат, 1972. — 304 с.
| Ионный источник | |
|---|---|
| Масс-анализатор | |
| Detector | |
| MS combination | |
