射频电源:修订间差异
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'''射频电源'''是可以产生固定[[频率]]的[[正弦波]][[電壓]],频率在[[射頻]]範圍(約3KHz~300GHz)內、具有一定[[功率]]的[[电源]]。<ref> |
'''射频电源'''是可以产生固定[[頻率 (物理學)|频率]]的[[正弦波]][[電壓]],频率在[[射頻]]範圍(約3KHz~300GHz)內、具有一定[[功率]]的[[电源]]。<ref>{{Cite web |url=http://www.ime.cas.cn/jgsz/kybm/wdzsbjsyjs/cpjs/8_1/ |title=中科院射频电源组 |access-date=2013-01-26 |archive-url=https://web.archive.org/web/20130813214426/http://www.ime.cas.cn/jgsz/kybm/wdzsbjsyjs/cpjs/8_1/ |archive-date=2013-08-13 |dead-url=yes }}</ref> |
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射频电源已广泛应用于[[半导体]]工艺设备;[[LED]]与[[太阳能]][[光伏]]产业;科学实验中的[[等离子体]]发生;射频感应加热;医疗美容;常压等离子体消毒清洗等。<ref> |
射频电源已广泛应用于[[半导体]]工艺设备;[[LED]]与[[太阳能]][[光伏]]产业;科学实验中的[[等离子体]]发生;射频感应加热;医疗美容;常压等离子体消毒清洗等。<ref>{{Cite web |url=http://rf-power.net/?page_id=45 |title=中科院射频电源组研发部 |access-date=2013-01-26 |archive-date=2018-08-26 |archive-url=https://web.archive.org/web/20180826035126/http://rf-power.net/?page_id=45 |dead-url=no }}</ref> |
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==参考文献== |
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